Начальник отдела лазерной физики и нанотехнологий ФТИ Николай Иванов подчеркнул актуальность создания лаборатории по анализу кремниевых структур. «В России сейчас восстанавливается производство кремниевых материалов для солнечной энергетики (солнечный кремний) и кремния для производства микросхем полупроводникового качества, - говорит Н. Иванов. - Производство этих материалов организовано и в Иркутской области. Сейчас на предприятии ООО «Усолье – Сибирский Силикон» выпускается поликристаллический кремний солнечного качества. По мере отработки технологии будет производиться и полупроводниковый кремний, который необходим для выпуска отечественных микросхем и других полупроводниковых компонентов. С нашей стороны мы сможем обеспечить анализ кремния на содержание примесей. Это необходимо, в первую очередь, для отладки технологии производства».
При полной комплектации лаборатории появится возможность заключать договоры с различными предприятиями страны по аналитике, проведению научных исследований по отработке технологии очистки кремния. «К 2014 году мы планируем приобрести приборы для контроля электрофизических свойств кремния, поставить методику инфракрасной Фурье-спектрометрии для измерения концентрации ряда примесей и ростовую установку для получения кремния полупроводникового качества. Общая стоимость оборудования лаборатории может составить несколько десятков миллионов рублей» - говорит Н. Иванов.
По информации научного руководителя лаборатории Николая Астраханцева, в настоящее время лаборатория оснащена на сумму более 13 млн рублей. Кроме масс-спектрометра с индуктивно-связанной плазмой Agilent 7700s, это ещё и оборудование для пробоподготовки: получения деионизованной воды, дистилляции кислот и микроволнового разложения проб, которые необходимы для проведения анализа.
Он подчеркнул, что существующие в Иркутской области масс-спектрометры не позволяют проводить рутинные анализы сверхнизких концентраций примесей в полупроводниковых материалах.
«При помощи нашего масс-спектрометра можно получать более точные данные в самом широком диапазоне концентраций для различных типов матриц, при этом существенно упрощая разработку методов и повседневную работу. В то же время он сохраняет эффективность и гибкость, необходимые для передовых исследований. За счет этого прибора можно значительно удешевить и ускорить проведение анализа. Наиболее затратной статьей при эксплуатации является инертный газ и калибровочные эталоны. Прибор работает на особо чистом аргоне. Стоимость одного баллона аргона составляет около восьми тысяч рублей, его хватает только на восемь часов непрерывной работы», - поясняет Н. Астраханцев.
В перспективе на базе лаборатории планируется создание независимого центра, который сможет производить точную оценку качества кремния, осуществлять арбитраж, чтобы решать споры между производителем и потребителем в случае обнаружения брака.
|
